摘要
本申请公开了一种封装结构、封装方法及半导体模块。该封装结构用于封装半导体芯片,其中,封装结构包括:金属基板,用于承载半导体芯片;以及陶瓷基板,包括下金属层,陶瓷基板位于半导体芯片和金属基板之间,用于电性绝缘金属基板和半导体芯片;其中,下金属层与金属基板直接连接。通过下金属层与金属基板的直接接触并直接连接,无需在二者之间设置连接介质层或其它连接结构,利于降低封装结构的不良率,提高封装结构的可靠性。并且,由于下金属层与金属基板直接连接,更利于提高封装结构的散热效率。
技术关键词
半导体芯片
封装结构
陶瓷基板
封装方法
半导体模块
绝缘金属基板
介质
导热
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