基于混合键合的微型发光二极管芯片及其制造方法

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基于混合键合的微型发光二极管芯片及其制造方法
申请号:CN202510124088
申请日期:2025-01-26
公开号:CN119967990A
公开日期:2025-05-09
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种基于混合键合的微型发光二极管芯片,包括:上叠层,其包括:第一绝缘层,其被配置为容纳发光台面和第一通孔接触部;发光台面,其被配置为发射光,其中发光台面的顶面面积大于发光台面的底面面积;以及第一通孔接触部,其与发光台面的底部电连接并穿过第一绝缘层;以及下叠层,其包括:第二绝缘层,其被配置为容纳第二通孔接触部;第二通孔接触部,其穿过第二绝缘层;以及驱动背板,其与第二通孔接触部电连接,其中下叠层通过混合键合与上叠层接合,使得第一通孔接触部与第二通孔接触部键合,并且第一绝缘层与第二绝缘层键合。本发明还涉及一种用于制造这样的微型发光二极管芯片的方法。通过本发明,可以实现在实现发光台面的倒梯形结构的同时,还在发光台面底部制作通孔接触部、例如I C铜柱。
技术关键词
微型发光二极管芯片 台面 驱动背板 叠层 阴极 外延 反射镜 发光台 透明导电层 微透镜 复合结构膜 倾斜面 发光层 上沉积 标记 制作通孔 界面
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