芯片密封性及电阻检测设备及其控制方法

本发明提供了一种芯片密封性及电阻检测设备及其控制方法，属于芯片检测技术领域。该设备包括：移动模组，包括可沿水平方向移动的运动基台；治具，固设于运动基台处，治具包括用于定位待测芯片的第一腔体；电阻检测模块，固设于运动基台处且位于治具下方，电阻检测模块用于在检测位处检测待测芯片的电阻元件的通断；密封性检测模块，设置于检测位且包括可升降的密封压头和气密性测试接头，密封压头的下表面设有第二腔体，第二腔体与气密性测试接头连通，气密性测试接头与气密性检测仪器相连，治具位于检测位时密封压头下降至与治具贴合的高度，以使得第二腔体和第一腔体共同形成密封空间。本发明的检测设备检测效率高且整体体积较小。