摘要
本发明公开了一种集成电路芯片的切割组件,涉及芯片加工技术领域,包括切割箱体,还包括切割机构、打磨机构、往复机构和过滤机构,切割机构,所述切割机构包括平移架和电机架,所述平移架的两端通过螺栓固定安装在切割箱体的内部左、右侧壁。本发明通过驱动切割砂轮转动对集成电路芯片进行切割的同时,带动轴套转动,以对切割砂轮切割完成后的芯片边缘进行打磨,通过驱动活动架带动轴套在轮轴上进行往复运动,通过轴套带动打磨轮在旋转的同时进行往复运动,进一步提高了打磨轮的打磨效果,通过旋转臂带动轮轴旋转,使得轴套的底端可自适应贴紧晶圆表面,使得切割组件可适用于不同厚度的晶圆。
技术关键词
集成电路芯片
切割组件
电机架
切割机构
打磨机构
传动皮带
往复机构
过滤箱
切割砂轮
活动架
过滤机构
切割电机
轮架
螺栓
旋转臂
轴套
弹簧杆
活动块
轮轴
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