一种集成电路芯片的切割组件

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一种集成电路芯片的切割组件
申请号:CN202510138955
申请日期:2025-02-08
公开号:CN119772746A
公开日期:2025-04-08
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种集成电路芯片的切割组件,涉及芯片加工技术领域,包括切割箱体,还包括切割机构、打磨机构、往复机构和过滤机构,切割机构,所述切割机构包括平移架和电机架,所述平移架的两端通过螺栓固定安装在切割箱体的内部左、右侧壁。本发明通过驱动切割砂轮转动对集成电路芯片进行切割的同时,带动轴套转动,以对切割砂轮切割完成后的芯片边缘进行打磨,通过驱动活动架带动轴套在轮轴上进行往复运动,通过轴套带动打磨轮在旋转的同时进行往复运动,进一步提高了打磨轮的打磨效果,通过旋转臂带动轮轴旋转,使得轴套的底端可自适应贴紧晶圆表面,使得切割组件可适用于不同厚度的晶圆。
技术关键词
集成电路芯片 切割组件 电机架 切割机构 打磨机构 传动皮带 往复机构 过滤箱 切割砂轮 活动架 过滤机构 切割电机 轮架 螺栓 旋转臂 轴套 弹簧杆 活动块 轮轴 顶端
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