一种LED芯片的减薄加工控制方法

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一种LED芯片的减薄加工控制方法
申请号:CN202510140877
申请日期:2025-02-08
公开号:CN119839694A
公开日期:2025-04-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种LED芯片的减薄加工控制方法,包括:获取芯片工件的型号尺寸和初始厚度,设定初始移除率;基于初始移除率对芯片工件进行减薄加工,对减薄加工芯片进行多点位厚度检测,计算减薄加工芯片的厚度均值以及厚度差值;计算减薄加工芯片的实际移除率,将初始移除率调整为实际移除率;根据厚度差值计算同一磨抛周期内芯片工件的对比分析值,基于对比分析值生成冰水机温度调整值,基于冰水机温度调整值调整冰水机的工作温度;检测厚度均值是否达芯片工件的型号尺寸要求,通过划分多个磨抛周期,并根据检测磨抛周期的实际移除率进行动态调整,配合冰水机工作温度的实时调整控制,提高磨抛设备对芯片工件的磨抛加工稳定性和磨抛加工质量。
技术关键词
冰水机 工件 MES系统 厚度检测机构 磨盘设备 LED芯片 周期 磨抛设备 尺寸 检测芯片 台面 成品 基准 数据 标记 动态
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