一种大尺寸掩膜版产线的半自动下料机构

本发明涉及掩膜版上下料技术领域，公开了一种大尺寸掩膜版产线的半自动下料机构，包括下料机器人以及布置在下料机器人活动端的下料夹爪，所述下料夹爪上布置有CCD相机识别组件，用以识别定位掩膜版Box的位置，所述下料机器人的一侧设置有观察台，所述观察台上设置有竖向夹版组件，所述竖向夹版组件用以竖向定位夹持掩膜版，所述下料机器人的一侧还布置有装盒机构，所述装盒机构上通过限位组件限位夹持有掩膜版Box。本发明，各单元形成联动，且各机构重复精度高，大大提高了放版精度，人员离版较远，落灰风险很低，保证出货品质，同时由装盒机构对Box进行翻转，减轻人员负担，提高生产效率。