一种基于超表面半导体芯片的荧光滤光片

本发明公开了一种基于超表面半导体芯片的荧光滤光片，包括基底层与超材料层，所述超材料层包括微纳结构，所述微纳结构集成在基底层外侧，所述微纳结构由多组纳米柱组成，且多组所述纳米柱呈多层堆叠分布。本申请中，超材料通常由多层堆叠的三维结构组成，具有任何天然材料不具备的电磁特性，如负折射率、零折射率等，具有超薄的平面结构，不会产生色差，且可以使用现有的半导体工厂大规模生产，它不是通过折射或衍射光波来聚焦光线，而是通过调节光波的相位来实现对光波的控制和聚焦，所以一片芯片式滤光片通常至少满足2‑3个荧光通道的需求，一片芯片式滤光片可以替代原来2‑3片的常规镀膜荧光滤光片。