一种氮化物陶瓷基板的缺陷检测装置及检测方法

本发明公开了一种氮化物陶瓷基板的缺陷检测装置及检测方法，涉及检测装置技术领域，包括工作台，工作台的上端面设置有三个基板放置组件，工作台上设置有中转板，工作台上活动设置有安装板，安装板的一侧固定有气缸，气缸伸缩端的末端固定有连接板一，连接板一的下端面对称设置有上料吸附组件一和下料吸附组件一，工作台上设置有两个检测组件，工作台上还设置有多轴机械臂，多轴机械臂的末端固定有转向电机，转向电机的工作端固定设置有搬运电推杆，搬运电推杆伸缩端的末端固定有连接板二，连接板二的下端面对称设置有上料吸附组件二和下料吸附组件二；本发明在使用时，方便对陶瓷基板本体进行上下料，从而使该检测方法检测效率高。