摘要
本发明公开了一种采用单个光电探测器的高速自启动硅光偏振探测装置,包括:二维光栅耦合器、光波导和具有对称能带结构的自启动硅基锗光电探测器;二维光栅耦合器与光波导连接,光波导与具有对称能带结构的自启动硅基锗光电探测器的两个PN结连接;其中,二维光栅耦合器接收垂直的入射光,并将入射光的偏振态分解为两个正交的偏振态,两个正交的偏振态的光分别通过光波导耦合传递至具有对称能带结构的自启动硅基锗光电探测器的两个PN结,以实现具有对称能带结构的自启动硅基锗光电探测器产生正响应和负响应。本发明结构简单,更容易实现与现有硅工艺平台的融合进行制备。本发明仅使用一个光电探测器结构就可以完成入射光偏振信息的检测,极大地提高了器件结构的利用率和输出信号所包含的信息密度,减小了系统复杂度,提高了集成度,减小了芯片面积,降低了成本。
技术关键词
硅基锗光电探测器
偏振探测装置
光栅耦合器
光波导
PN结
偏振态
光电探测器结构
工艺平台
红外光
器件结构
光电流
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