一种改善花篮抓取传输稳定性的装置及抓取方法

本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其是一种改善花篮抓取传输稳定性的装置及抓取方法，包括与机械臂相连接的固定板；在所述固定板的下方安装有至少两个夹持单元；其中所述夹持单元包括驱动件、摆动机构和抓取件，所述摆动机构安装于所述驱动件的下方，本发明中通过将固定板直接与机械臂进行连接，取消传动抓取装置中的两个长旋转杆，如此将力臂分布从“2+4”的模式优化成“0+4”的模式，避免花篮在运行过程中由于手臂运行速度的影响而使横向惯性增大，提高稳定性以及提高夹取效率，夹取传输稳定性提升之后可以不依靠花篮卡口设计就能避免惯性作用所导致的花篮滑脱，其次该设计可以适配无卡口花篮等绝大多数花篮，适配能力更强，优化作业的适配性。