一种MEMS陀螺仪与加速度计芯片测试装置及其测试方法

本申请提供一种MEMS陀螺仪与加速度计芯片测试装置及其测试方法，包括第一支架、第二支架以及旋转主体，第一支架与第二支架间隔设置，旋转主体的两端分别固定于第一支架与第二支架上，旋转主体包括转接盘、吸振支撑架、弹性片、安装座、吸振垫板以及测试板，吸振支撑架以及弹性片均连接于转接盘上，且吸振支撑架设置于弹性片的外侧，安装座连接于吸振支撑架上，吸振垫板设置于安装座上，测试板设置于吸振垫板上，测试板用于承载芯片，吸振支撑架、吸振垫板以及弹性片用于减振，以降低振动。