半导体晶圆检测光源的高精度动态光谱调制方法及系统

本发明涉及晶圆光谱检测的技术领域，公开了一种半导体晶圆检测光源的高精度动态光谱调制方法及系统，本发明驱动检测光源模块对待测晶圆进行初始化照射，采集初始检测信息，根据数据库匹配初始检测信息，制定区域划分检测方案，根据区域划分检测方案施加对应光谱照射，采集得到初始状态的晶圆数据，对检测数据进行适应性评估以自适应调控检测方案，融合初始与调控状态的检测数据，分析检测进度，循环调控直至进度符合阈值，动态光谱调制确保晶圆表面各区域得到精确检测，实时评估和调整检测方案，提高检测覆盖率与准确性，数据融合和进度分析提升了检测的效率与精确度，减少了人工干预，解决了现有技术中静态光源照射容易出现漏检现象的问题。