基于多尺度轻量化网络的半导体检测方法及装置

本发明提供了基于多尺度轻量化网络的半导体检测方法，属于半导体器件检测领域，包括：获取半导体图像，对半导体图像进行预处理；将YOLOv8模型中BackBone网络或Neck网络中的部分C2f模块替换为MSEC模块，用于对输入特征进行多尺度特征提取，将BackBone网络中第5层模块和Neck网络中第16层模块的输出特征、BackBone网络中第7层模块和Neck网络中第19层模块的输出特征、BackBone网络中第10层模块和Neck网络中第22层模块的输出特征分别输入一个DAEM模块进行特征增强，并将每个DAEM模块输出的特征图输入EDSDC检测头，构建YOLOv8n‑MDE模型并训练，得到训练后YOLOv8n‑MDE模型；将预处理后的半导体图像输入训练后YOLOv8n‑MDE模型，得到检测结果；还提供了检测装置；解决YOLOv8算法检测时对复杂背景抑制能力较差的问题。