缺陷分类装置和方法

本发明公开了一种缺陷分类装置包括：第一神经网络，为缺陷分类模型的神经网络。第二神经网络，为缺陷检测模型的神经网络，第二神经网络的输入端输入晶圆图像，缺陷检测模型检测出晶圆图像上的第一缺陷并提取第一缺陷的第一特征信息。第一特征信息还输入到第一神经网络的输入端，缺陷分类模型还根据第一特征信息得到第一缺陷的缺陷类别。本发明还公开了一种缺陷分类方法。本发明能实现缺陷自动分类且能提高准确率。