摘要
本发明公开了具有原位重编辑能力磁性微纳机器人的制备和编辑方法,属于微纳器件领域。包括通过聚乙烯醇制备牺牲层,再旋涂pNIPAM利用光刻工艺制备柔性铰链层,再利用预混合不同直径的镍纳米线的SU‑8制备两个磁驱动模块,释放后获得微纳机器人,重编辑时,可以外加磁场选择性磁化其中一个磁驱动模块或两个同时磁化,完成对微纳机器人的原位重编辑。本发明制备工艺简单,通过简单的外加磁场的方式就能够实现微纳机器人的重编辑,并提供了更多运动模态,解决了现有的微纳器件运动模态仍然较为僵化等问题,进一步提高了灵活性,在生物医药、环境探测等领域具有重要的应用前景。
技术关键词
磁驱动
微纳机器人
柔性铰链
光刻胶
海尔贝克阵列
模块
原位
振荡磁场
编辑方法
套刻工艺
水溶性
异丙基丙烯酰胺
牺牲层表面
加热
镍纳米线
匀强磁场
聚乙烯醇
微纳器件
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