一种多焦点激光微纳制造方法及系统

本发明公开了一种多焦点激光微纳制造方法及系统，涉及激光加工技术领域，包括：解析加工图样的SVG矢量编码信息；采用环形分割算法得到LCOS‑SLM多焦点阵列；调整图形尺寸，对图形进行离散化处理，对图形的坐标点间隔均匀化处理；将均匀离散后的图形分为n个加工区域，以焦点位置均匀分布为原则将坐标信息分组，得到加工路径；将每个分区的坐标信息代入环形分割算法，生成全息相位图集；标定加工区域之间的拼接参数，完成多焦点的并行加工。本发明实现了高效的激光并行加工方法，可提升激光加工系统的效率、稳定性以及曲线结构加工的均匀性，为微纳加工领域提供了一种高效、可靠的解决方案。