摘要
本发明公开了一种组合传感器和电子设备,涉及传感器技术领域,组合传感器包括封装壳体、信号连接的MEMS芯片和ASIC芯片、防水透气膜以及水残余检测组件,封装壳体形成容纳腔,并设有连通容纳腔与外界环境的透气孔,MEMS芯片设置在所述容纳腔内,ASIC芯片设置在容纳腔内或者埋设在封装壳体内;防水透气膜覆盖透气孔,水残余检测组件设在封装壳体上,并对应防水透气膜设置,水残余检测组件与ASIC芯片信号连接;水残余检测组件用于检测防水透气膜处是否有水残余,ASIC芯片用于当检测到有水残余时启动加热以去除水残余。本发明的技术方案能够实现防水需求,同时提升声学信号和气压信号的测量精度。
技术关键词
ASIC芯片
组合传感器
MEMS芯片
防水透气膜
检测组件
透气孔
基板
麦克风
电极
气压
电子设备
壳体
环形焊盘
信号
传感器技术
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