一种基于TSV转接的触觉传感器

本发明公开了一种基于TSV转接的触觉传感器，属于触觉传感器技术领域，该传感器包括MEMS器件、TSV器件和ASIC器件三个主体部分，并通过MEMS‑ASIC晶圆级集成方法实现，本发明通过TSV转接实现MEMS与ASIC的电气互通，增强了信号完整性、降低了电磁干扰，提高了MEMS触觉传感器的可靠性。通过TSV转接实现部分引线和Pad的转移，方便MEMS触觉传感器信号输出和读取的同时简化了版图设计、降低了工艺难度。