一种支持多维补偿的高精度AOI设备轨迹优化控制系统

本发明涉及AOI设备轨迹优化技术领域，具体公开了一种支持多维补偿的高精度AOI设备轨迹优化控制系统，包括感知层、决策层、执行层和反馈层，感知层包括检测相机，决策层包括图像采集与处理模块、智能轨迹规划模块以及角度补偿模块，执行层包括高精度运动平台；检测相机采集待检测晶圆的表面图像；图像采集与处理模块对表面图像进行处理，以得到高维特征矩阵；智能轨迹规划模块根据高维特征矩阵生成初始运动轨迹，并实时更新初始运动轨迹；角度补偿模块依据表面图像计算出位移补偿值；在高精度运动平台执行初始运动轨迹运动一次后，执行层控制高精度运动平台执行一次位移补偿值。本发明能够大幅提升整体检测性能。