一种变距式芯片测试装置

本发明涉及半导体芯片测试技术领域，具体公开一种变距式芯片测试装置，包括芯片供料、中转、测试机、变距转移、载具转移机械手和良品下料机构。供料机构送出仓储载具，中转机构运送测试载具，测试机进行芯片测试。变距转移机构调整芯片间距，匹配仓储与测试载具。载具转移机械手取出已测试载具，良品下料机构堆叠存储合格芯片。本发明提供的变距式芯片测试装置，能在测试过程中根据测试需要调整芯片间距，从而既保证了芯片测试时的作业空间，又提高了芯片在仓储和运输过程中的效率。