一种基于数据分析的蒸镀设备监管系统及方法

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一种基于数据分析的蒸镀设备监管系统及方法
申请号:CN202510334347
申请日期:2025-03-20
公开号:CN120277315A
公开日期:2025-07-08
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于数据分析的蒸镀设备监管系统及方法,涉及卷绕蒸镀设备技术领域;该系统包括热辐射数据采集、工艺参数采集、数据处理与分析、监测结果输出、多参数关联调控和模型优化六大模块。系统通过各模块协同工作,热辐射数据采集模块获取溅铝区域热辐射数据,工艺参数采集模块收集蒸镀设备工艺参数;数据处理与分析模块整合处理数据得到溅铝数据,监测结果输出模块实时显示并传输该数据用于闭环控制;多参数关联调控模块构建耦合模型实现自适应调控,模型优化模块根据新数据更新优化模型,从而实现对蒸镀设备溅铝过程的有效监管。
技术关键词
设备监管系统 蒸镀设备 数据采集模块 多参数 采集单元 调控单元 设备工艺参数 数据传输单元 数据处理模型 分析模块 关键工艺参数 数据分析算法 输出模块 图像识别算法 红外热成像仪 数据分析单元 光谱分析仪
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