摘要
本申请涉及一种半导体芯片,包含:由第一导电型的碳化硅形成的碳化硅基板,由第一导电型的碳化硅形成的漂移层,在漂移层上设置有源区域,在俯视来看,第二导电型半导体与第一主面侧电极被布置于该区域,以及围绕有源区域以防止耐压劣化的终端区域,此外,耐压结构的外周以及半导体芯片的端部在俯视来看均为六边形,耐压结构外周的六边形角部呈圆角形状,第二导电型半导体在俯视图中形成条状结构,并且这些条状结构的方向至少布置在两个不同方向上,其相互之间夹角为60°的倍数,如此,可以提高碳化硅半导体芯片的可靠性。
技术关键词
半导体芯片
耐压结构
条状结构
碳化硅基板
六边形
导电
肖特基二极管
栅极电极
栅极绝缘膜
半导体基板
镜像对称
终端
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