一种多轴重离子微孔膜全自动辐照装置

本发明涉及一种多轴重离子微孔膜全自动辐照装置，包括分体式设计的如下各部件：卷膜放料器，包括若干卷膜放料组件，若干卷膜放料组件并排布置成若干列；卷膜收料器，包括若干卷膜收料组件，若干卷膜收料组件并排布置成若干列，若干卷膜收料组件布置的列数与若干卷膜放料组件布置的列数相同，卷膜放料器与卷膜收料器之间设置有衔接轴、转向轴、传动轴，用于连接卷膜；重离子束真空腔体，设置于卷膜放料器与卷膜收料器之间，用于辐照经过衔接轴的卷膜；机器人，分别设置于卷膜放料器的入料端和卷膜收料器的出料端。可实现全自动化的上料与下料，实现多角度的束流探测与束流随动，实现自动化的收料纠偏功能，束流辐照窗体实现温控的自动调节。