一种等离子源磁芯退磁故障的诊断方法及装置

本发明属于等离子源技术领域，提供了一种等离子源磁芯退磁故障的诊断方法及装置。该方法包括以下步骤：实时获取磁芯单位时间的温度变化率ΔT、点火电压Vloop及气体解离率λ；对获取数据进行归一化处理；将数据输入训练好的BP‑MTN模型，输出退磁程度d；根据所述退磁程度d预估退磁程度，并分别进行处理。通过该诊断方法实现对等离子源系统的磁芯退磁故障的预估，从而实现等离子源对气体的稳定解离，确保等离子浓度稳定，确保半导体制程工艺的刻蚀率的一致性。