摘要
本申请公开了一种台面型碲镉汞焦平面红外探测器器件结构及制备方法,涉及半导体技术领域,器件结构包括:碲镉汞芯片(006),其上包括阵列排布的棱台形的台面结构,一个台面结构对应于一个台面像素,所述台面结构的表面覆盖有钝化层(005),以及,在所述台面结构的上表面设置有电极结构(003),所述电极结构(003)通过第一通孔穿过钝化层与所述碲镉汞芯片(006)形成欧姆接触,所述台面结构上设置有金属电极;读出电路(001),通过铟柱(002)与碲镉汞芯片(006)互连。本申请利用像元侧壁的金属结构隔绝折射反射造成的光学串音,通过刻蚀台面结构降低串音。
技术关键词
红外探测器器件
台面结构
碲镉汞芯片
多层复合结构
读出电路
磷硅玻璃
正面电极结构
刻蚀损伤层
铟柱
通孔
碲镉汞材料
碲化镉
金属电极
PN结
硫化锌
涂覆光刻胶
二氧化硅
系统为您推荐了相关专利信息
碲镉汞芯片
芯片承片台
双面
红外探测器芯片
台阶
LED垂直芯片结构
台面结构
半导体层
电子阻挡层
外延结构