摘要
本发明涉及芯片老化测试技术领域,具体为一种芯片老化测试用的液冷系统和控温方法,其中一种芯片老化测试用的液冷系统,包括:封盖、加热源、散热片流体流动腔、水流口和底板。封盖,封盖的底端设有密封槽,密封槽的底端设为开口端;加热源,设置于封盖,加热源用于加热封盖;散热片,散热片的顶端设有微流道,微流道自散热片伸进密封槽,散热片的底端封盖密封槽的开口端;流体流动腔,由密封槽的内壁以及散热片伸进且封盖密封槽的端部界定;水流口,包括进水口和出水口,设置于封盖,且进水口和出水口均与流体流动腔导通;底板,设置于散热片的底部,底板用于盛放芯片,且芯片设置在散热片和底板之间。
技术关键词
芯片老化测试
加热源
散热片
液冷系统
控温方法
封盖
微流道
冷却液
出水口
导热垫
热交换
加热棒
底板
六边形
水流
安装板
顶端
平铺
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