一种MEMS麦克风

本发明公开一种MEMS麦克风，属于麦克风技术领域，包括第一基板，第一基板的顶面固接有封装壳，封装壳内设有第一空腔，第一空腔内分别安装有ASIC芯片和MEMS芯片，ASIC芯片和MEMS芯片电性连接，MEMS芯片与第一基板之间安装有第一固定机构，第一基板上设有声孔，声孔与MEMS芯片内连通，声孔内设有除尘部。外界气流由声孔进入第一空腔内，杂质经除尘部进行处理，防止杂质进入第一空腔内，避免灰尘对MEMS芯片造成损伤，达到MEMS麦克风的防尘要求，通过第一固定机构对MEMS芯片进行固定，增加MEMS芯片工作过程中的稳定性。