探针结构、探针模组以及探针卡

本发明提供一种探针结构、探针模组以及探针卡。其中，所述探针结构包括：针座，所述针座的一端形成焊接端；针臂，所述针臂的一端与所述针座的另一端相连接；针尖，所述针尖沿检测方向延伸设置，其与所述针臂的另一端相连接，且所述针尖的侧面形成有避位空间。本发明的探针结构中，针尖的侧面形成有避位空间，如此可避免针尖排列时发生干涉，进而有利于实现针尖的小间距紧凑排列，以适应高集成度半导体芯片的测试。