一种高分辨率的显示面板用光刻胶制备方法及系统

AITNT
正文
推荐专利
一种高分辨率的显示面板用光刻胶制备方法及系统
申请号:CN202510525980
申请日期:2025-04-25
公开号:CN120065647B
公开日期:2025-07-11
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种高分辨率的显示面板用光刻胶制备方法及系统,涉及光刻胶制备领域,方法包括:在制备参数范围内随机生成光刻胶的制备参数,进行光刻胶制备集成预测,获得多个光刻胶气泡分布;分别在多个光刻胶气泡分布内,随机进行刻蚀模拟,获得多个刻蚀模糊率;根据多个光刻胶气泡分布和多个刻蚀模糊率计算获得光刻适应度,进行光刻胶制备参数的迭代优化,获得最优光刻胶制备参数进行制备。旨在解决传统光刻胶制备方法无法有效控制气泡干扰,导致影响光刻图案的精度和细节的技术问题,通过集成预测与算法优化,可以显著提高光刻胶制备参数设置的精准性和可靠性,进而有效控制气泡的产生与分布,提高图案的精度、清晰度和细节。
技术关键词
光刻胶 气泡 参数 分辨率 面板 样本 坐标 分支 生成对抗网络 光刻图案 数据 模块 精度 尺寸 算法
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种高频变换器内嵌迭代类E型饱和电感粒子群优化方法
粒子群优化方法 高频变换器 磁通 磁阻 电感值
2
消息匹配通道发送的方法及系统
神经网络模型 通道 非线性 关系 发送消息
3
一种用于无人帆船的全覆盖路径规划算法
无人帆船 栅格地图 路径规划算法 节点 障碍物
4
一种双目立体视觉电力作业安全距离测量方法及系统
高空作业车辆 电力作业现场 三维空间模型 带电设备 双目立体视觉
5
深度学习的水产热泵故障预测与自适应温控系统及其方法
决策控制模块 智能分析模块 混合网络模型 PID控制参数 控制热泵系统
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号