摘要
本发明提供了一种高分辨率的显示面板用光刻胶制备方法及系统,涉及光刻胶制备领域,方法包括:在制备参数范围内随机生成光刻胶的制备参数,进行光刻胶制备集成预测,获得多个光刻胶气泡分布;分别在多个光刻胶气泡分布内,随机进行刻蚀模拟,获得多个刻蚀模糊率;根据多个光刻胶气泡分布和多个刻蚀模糊率计算获得光刻适应度,进行光刻胶制备参数的迭代优化,获得最优光刻胶制备参数进行制备。旨在解决传统光刻胶制备方法无法有效控制气泡干扰,导致影响光刻图案的精度和细节的技术问题,通过集成预测与算法优化,可以显著提高光刻胶制备参数设置的精准性和可靠性,进而有效控制气泡的产生与分布,提高图案的精度、清晰度和细节。
技术关键词
光刻胶
气泡
参数
分辨率
面板
样本
坐标
分支
生成对抗网络
光刻图案
数据
模块
精度
尺寸
算法
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