摘要
本发明属于集成电路封装技术领域,提供一种3D集成电路的封装结构及封装方法,封装结构包括:多层芯片堆叠体、芯片间互连层、电源分配网络、散热模块和封装基板;多层芯片堆叠体包括集成电路芯片,集成电路芯片以三维堆叠的方式排列,集成电路芯片之间通过垂直互连结构实现电气连接;芯片间互连层被配置在相邻的集成电路芯片之间,包括多层金属互连线路,采用高密度、低电阻的金属材料制成,且集成有信号隔离结构;电源分配网络被配置为集成在封装基板中,通过可编程开关矩阵调节集成电路芯片的供电电压;散热模块与多层芯片堆叠体连接;封装基板被配置在多层芯片堆叠体底部,用于支撑整个封装结构。本发明便于集成电路小型化、轻量化应用。
技术关键词
多层芯片堆叠
集成电路芯片
电源分配网络
封装结构
封装基板
可编程开关矩阵
信号隔离结构
金属互连线路
预处理集成电路
垂直互连结构
散热模块
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