一种基于人工智能的工业大数据挖掘系统及方法

本发明涉及数据挖掘技术领域，尤其涉及一种基于人工智能的工业大数据挖掘系统及方法，包括，数据采集模块；数据存储模块，用以对所述半导体生产数据进行存储；降维处理模块，用以对所述半导体生产数据进行降维处理，得到降维后生产数据；人工智能监测模块，用以得到故障情况、故障时间点和故障原因；预警告警模块，用以进行故障预警和故障告警；偏离挖掘模块，用以对偏离系数进行分析，并对偏离情况进行判断，还用以进行偏离校正。本发明通过对半导体生产过程的工业大数据进行数据挖掘，以对半导体工业生产过程进行故障监测和预测，满足半导体生产监测的实时性要求，避免故障预测偏离情况并及时进行校正，提高了半导体工业生产控制效率。