一种晶圆缺陷检测数据处理方法及系统

本发明涉及半导体制造检测技术领域，公开了一种晶圆缺陷检测数据处理方法及系统，其中，一种晶圆缺陷检测数据处理方法包括：基于晶圆表面特性构建结构化随机测量矩阵，采集压缩测量数据；利用谱聚类算法识别不同缺陷类型对应的局部流形结构；构建多尺度图拉普拉斯算子，提取缺陷几何特性；根据缺陷类型执行差异化重建处理，求解包含核范数和图拉普拉斯正则化项的优化目标；基于重建质量评估，动态调整采样策略；本发明实现了在低采样率下的高精度缺陷重建，提高了数据处理效率，提升了复杂缺陷重建质量，适应多样性缺陷处理，降低了存储和传输负担，优化了计算资源分配。