中锰钢氧空位缺陷识别方法及装置

本发明提供一种中锰钢氧空位缺陷识别方法及装置。该方法包括：基于正电子湮灭寿命谱和多普勒展宽谱对目标样品块进行测量的结果，得到第一氧空位缺陷区域；针对每个超薄样品，通过高分辨透射电子显微镜观察该超薄样品，并采集该超薄样品的明场图像和暗场图像；基于明场图像、暗场图像和第一氧空位缺陷区域，得到第二氧空位缺陷区域；对第二氧空位缺陷区域进行电子能量损失谱分析，确定该超薄样品中的第三氧空位缺陷区域和对应的氧空位缺陷浓度；根据每个超薄样品中的第三氧空位缺陷区域和氧空位缺陷浓度，确定目标中锰钢样品的各个目标氧空位缺陷区域和氧空位缺陷浓度。本发明能够精确获取氧空位缺陷的位置、数量、尺寸及分布形态等信息。