摘要
一种基于PANI/Au/SnO2传感材料的室温氨气传感器及其制备方法,包括单晶硅衬底,单晶硅衬底的两面设有二氧化硅层,一侧的二氧化硅层上设有金叉指电极,二氧化硅层及金叉指电极表面设有气体敏感材料薄膜,气体敏感材料薄膜由PANI/Au/SnO2复合材料构成;单晶硅衬底、二氧化硅层以及金叉指电极共同构成传感器芯片;气体敏感材料薄膜接触待测气体即氨气前后电阻会发生变化,通过测量金叉指电极间电阻的变化获得传感器响应值的相关性能;本发明传感器具有检测限低、响应高,并且能显著降低基线漂移情况,提高气体传感器的响应恢复能力和速度,传感器制备方法简单便捷。
技术关键词
室温氨气传感器
气体敏感材料
空心纳米球
SnO2复合材料
单晶硅衬底
传感器芯片
二氧化锡纳米颗粒
二氧化硅
传感器响应值
薄膜
复合气敏材料
待测气体
溶液
电极
乙醇
氯金酸
去离子水
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