一种基于MEMS原理的六维力传感器器件及其制备方法

本发明公开一种基于MEMS原理的六维力传感器器件及其制备方法，包括利用MEMS工艺在硅基底上制备的MEMS六维力传感器、集成ASIC芯片的PCB板、力传导柱、防拆解支撑结构和封装结构。其中MEMS六维力传感器由MEMS工艺在硅基底上制备，不需要钢体结构，可以有效改善人工贴装应变片导致的误差及低效率，降低器件重量和制备成本。力传导柱将外部力/力矩传递给MEMS六维力传感器，MEMS六维力传感器测量外部力/力矩，并将其转换为模拟电信号，PCB板对模拟电信号进行放大、滤波、解调、解耦、校准、AD/DA转换等处理，以数字信号的形式输出测试结果；防拆解支撑结构一方面支撑封装结构，隔离封装结构和MEMS六维力传感器，另一方面防止MEMS六维力传感器非法拆解，使整个器件正常工作。