一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统

本发明公开了一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统，具体涉及半导体制造设备领域，包括任务初始化模块、智能调度模块、圆盒运输模块、缓存调度模块、异常处理模块以及任务反馈模块；任务初始化模块：生产管理系统MES根据生产计划生成晶圆盒搬运任务；智能调度模块：核心调度控制单元基于所述搬运任务生成最优搬运策略；本发明通过智能调度系统MCS本系统实时监测晶圆盒的状态、位置以及生产线的需求，会选择最优的晶圆盒搬运路径和存储策略，下发搬运任务，确保晶圆盒在缓存槽、STK存储区、SMIF设备及OHS空中穿梭车之间的高效流转，减少等待时间和无效搬运，提升整体生产效率。