具有自供电静电卡盘的末端执行器

一种真空机器人包括末端执行器和发电机，末端执行器包括静电卡盘，发电机联接到末端执行器以向末端执行器提供夹持电压来激活静电卡盘。发电机可以包括从以下中的至少一个产生电能：光源、激光源或磁场中的一组电线圈。