一种抗振动干扰的光学式壁面剪应力微传感器及其测量系统

本发明提供一种抗振动干扰的光学式壁面剪应力微传感器及其测量系统，属于MEMS传感器技术领域；包括MEMS芯片模块、安装于MEMS芯片模块上的四象限振动敏感膜及动态抗干扰剪应力修正模块，所述四象限振动敏感膜以四元正交周向阵列的方式排布于MEMS芯片模块的浮动元件下表面，并位于所述浮动元件下表面的可动光栅薄膜外周；所述动态抗干扰剪应力修正模块将四象限振动敏感膜的振动矢量向量投影至剪应力微传感器的灵敏轴方向上，提取出沿剪应力测量方向的振动干扰分量，结合低通滤波算法实时补偿剪应力信号中的振动耦合误差，完成剪应力的抗干扰计算。本发明解决了传统单一参数检测的局限性及振动干扰问题。