一种高可靠隔压拾压式光纤压力传感器及测量方法

本发明公开了一种高可靠隔压拾压式光纤压力传感器及测量方法，包括传感器部件，以及位于传感器部件内部的第一光纤、第二光纤、温度补偿凸台和膜片，传感器部件包括筒体、固定件和封闭部件，并形成隔压空腔，第一光纤设置在与固定件连接的温度补偿凸台内，第二光纤与固定件连接，并与筒体形成同步微腔温度补偿结构，膜片设置在筒体内，并与第一光纤形成法珀腔，传感器部件与温度补偿凸台形成温度自补偿结构；该传感器通过隔压空腔的设计实现膜片单一感压，通过温度自补偿结构和同步微腔温度补偿结构大幅减少温度对腔长的影响，通过合理设计膜片的尺寸参数满足不同的测量范围，采用应力匀化的膜片抑制其蠕变问题，提升了传感器的可靠性和稳定性。