一种MEMS麦克风传感器

本申请涉及麦克风传感器的技术领域，尤其是涉及一种MEMS麦克风传感器，包括封装基体、MEMS芯片及ASIC芯片，所述封装基体上开设有声孔，所述MEMS芯片、所述ASIC芯片堆叠在所述封装基体内并分别与所述封装基体电性连接，所述MEMS芯片对应所述声孔设置。本申请具有兼顾小型化与高保真声学性能的双重诉求的效果。