一种芯片的双面检测装置

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一种芯片的双面检测装置
申请号:CN202510677862
申请日期:2025-05-26
公开号:CN120522089A
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片的双面检测装置,所述装置支座上端活动设置有Y轴滑台,所述Y轴滑台上端活动设置有X轴滑台,所述X轴滑台的尾部一体成型有定位支座,所述X轴滑台的前端安装有镜室,所述定位支座上端定位有相机检测组件,所述镜室上端安装有检测棱镜座,所述检测棱镜座内侧安装有光源支架,所述光源支架上安装有第一光源与第二光源。本发明所述的一种芯片的双面检测装置,相机的光路经过变焦后到达棱镜的位置折射到芯片上,并通过两组反射棱镜将芯片两面光路再次折射到下端棱镜的位置并返回相机,且设置X轴与Y轴微调结构,可以调整检测位置,适应更多型号尺寸的芯片,且检测精度更高。
技术关键词
双面检测装置 棱镜座 安装卡座 Y轴滑台 光源支架 定位支座 芯片 检测组件 镜片 三棱镜 对照相机 微调结构 反射棱镜 机身
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