一种基于光强传输方程的实时定量相位检测装置和方法

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一种基于光强传输方程的实时定量相位检测装置和方法
申请号:CN202510695728
申请日期:2025-05-27
公开号:CN120490093A
公开日期:2025-08-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种基于光强传输方程的实时定量相位检测装置和方法,属于光学测量和三维成像技术领域。本发明的检测装置包括4f成像系统、固定支架、正交分光棱镜、精密位移台和相机,并可通过调节精密位移台位置同时获取欠焦、聚焦和过焦的光强图像。本发明的检测方法包括频域配准、光强传输方程求解、微分干涉对比图像增强和半监督目标区域自动分割等步骤,通过对光强图像进行处理,可实现被测物体的实时定量相位检测。本发明装置和方法对比现有技术,能够解决基于光强传输方程定量相位测量系统的实时性差、结构复杂、离焦量一致性差、观测视场通量小以及成像结果信噪比低等问题,实现高速、高信噪比、高通量的三维定量相位检测。
技术关键词
定量相位检测 光强传输方程 相机 评估机器学习模型 分光棱镜 矩阵 形态学图像处理 离散傅立叶变换 三维成像技术 透镜 图像增强 精密位移台 物体 信噪比 批量 掩膜板
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