用于半片电池切片截面钝化修复的导电装置以及工作方法

本申请涉及一种用于半片电池切片截面钝化修复的导电装置以及工作方法，属于光伏电池的技术领域。它包括腔室上壳和腔室下壳闭合形成的真空腔室、进气组件、长板型电极、射频电源及载板；电极之间形成横向电场，驱动等离子体定向沉积于半片电池切片的截面上。本申请结合多电极配置、堆叠方向扩容及导电杆可升降地动态接触之间协同作用，解决传统腔室气体分布不均的问题，从而提升镀膜效率、均匀性与稳定性，适用光伏电池规模化生产作业。