晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法

本发明提供了晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法，涉及晶圆搬运技术领域，包括：安装基座组件，包括，第一安装板、第二安装板和安装座；主动调整组件，包括调节板，所述调节板位于所述第一安装板和第二安装板之间且其一侧与角度倾转装置连接，还包括若干组伸缩调整装置以及若干组弹性支撑装置，通过所述伸缩调整装置和所述弹性支撑装置上下夹持固定所述调节板和放置于调节板上的末端执行器，以实现调节板及末端执行器相对于安装基座组件的俯仰和横倾动作，通过以上设置，实现了末端执行器俯仰和横倾角度的主动调整功能，提高了适用性和结构紧凑性，保证了运行稳定性和调整精确度。