一种晶圆视觉扫料系统和扫料方法

本发明涉及一种晶圆视觉扫料系统和扫料方法，其中，晶圆视觉扫料系统包括固定平台和相机；所述固定平台用于固定晶圆卡塞；所述相机可活动地设置在所述固定平台上，所述相机能够运动至不同位置时对所述晶圆卡塞内不同区域的晶圆槽位进行拍照，以将所述晶圆卡塞内所有的晶圆槽位分别拍摄在不同的图像内。本发明的晶圆视觉扫料系统通过创新性的移动拍摄与图像拼接技术，结合智能图像识别算法，实现了对晶圆卡塞内部晶圆排列的全自动、高精度检测。它克服了现有光电传感器和固定视角视觉检测的局限，能够识别晶圆叠片、错位等细微异常，显著提高了生产过程的可靠性和自动化水平。