摘要
本发明提供一种自动存储芯片设备,涉及半导体生产设备技术领域,包括:货架机构,用于形成多层芯片存储库区;行车机构,包括可沿水平方向移动的X轴机构和可沿垂直方向移动的Z轴机构,Z轴机构滑动设置于X轴机构上;货叉机构,包括基座、第一货叉和第二货叉,基座固定于Z轴机构的移动端,第一货叉通过第一驱动组件与基座活动连接,第二货叉通过第一传动组件与第一货叉滑动连接,第一驱动组件驱动第一货叉沿Y轴移动;抱夹机构,设置于货叉机构的基座上,包括可相对滑动的两个抱夹臂和驱动两个抱夹臂的抱夹驱动机构。本发明只需设置一个驱动机构就可以实现两级移动,在简化驱动结构的同时实现了Y轴的长程移动,提升了Y轴的有效移动距离。
技术关键词
存储芯片
货架机构
货叉机构
抱夹机构
基座
驱动组件
驱动气缸
Z轴机构
传动组件
滑动导向机构
驱动轮
移动端
穿孔
驱动结构
上顶板
齿条
支架
支腿
滑板
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