一种半导体芯片在线测试装置

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一种半导体芯片在线测试装置
申请号:CN202510761997
申请日期:2025-06-09
公开号:CN120703547A
公开日期:2025-09-26
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种半导体芯片在线测试装置,具体涉及芯片性能测试技术领域,包括测试箱,测试箱的一侧顶部安装有主控制器,所述测试箱内腔的中部固定设置有垂直隔热板,通过垂直隔热板与水平隔热板将测试空间划分为独立的低温测试区和高温测试区,水平隔热板顶面且与永磁环相对应的位置上设有环形槽,且环形槽内滑动设置有两个对称设置的永磁块,两个永磁块的位置与永磁环的位置上下对应,测试板在圆环板带动下可同时进入不同温区进行同步测试,避免了现有技术中切换环境时,暴露环境导致的温度波动问题,无需频繁调整温区温度,既保证了测试环境的稳定性,又提升半导体芯片的测试效率。
技术关键词
在线测试装置 半导体芯片 隔热板 测试箱 擦拭组件 永磁环 测试模块 吸附模块 测试板 棉条 栅格板 同步带传动机构 驱动传动组件 性能测试技术 半环 齿轮传动机构 外壳体 测试机构
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