摘要
本发明公开了一种高绝缘高热散高集成的集成电路封装制作方法,它包括以下步骤;(1)、减薄;选取对应的晶圆,对其背面进行打磨,使得整个晶圆的厚度达到所需要的厚度;(2)、绷膜;将打磨好的晶圆的正面贴附上膜片;(3)、划片;(4)、粘陶瓷基板;(5)、无氧烘烤;(6)、粘片;(7)、烘烤:(8)、压焊;(9)、塑封;(10)、固化;(11)、电镀;(12)、打印;(13)、成型;(14)、随后对芯片封装体进行最终测试,测试验收合格之后,即可正常进行打包工序。它可以将多个芯片通过第一粘结剂粘结在陶瓷基板上。
技术关键词
集成电路封装
陶瓷基板
高绝缘
引线框架
粘结剂
芯片封装体
切筋成型系统
稀土氧化物
硅酸盐含量
环氧模塑料
导热胶
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