一种MEMS加速度计温度补偿方法、系统、介质、设备及产品

本发明公开了MEMS加速度计温度补偿技术领域的一种MEMS加速度计温度补偿方法、系统、介质、设备及产品，旨在解决现有技术补偿效果不佳的问题。方法包括：建立MEMS加速度计的温度补偿模型，并初始化温度补偿模型的温度补偿系数；基于RLS算法动态更新所述温度补偿模型的温度补偿系数，得到更新后的温度补偿模型；利用更新后的温度补偿模型对MEMS加速度计进行温度补偿，得到温度补偿后的加速度。本发明可以结合实时温度传感器数据与补偿参数，实时适应温度变化、老化效应及环境干扰，提高MEMS加速度计标度因数和零偏的长期稳定性，不仅提高了补偿精度，且具有易于实现、结构简单的特点。