一种低温快速烧结实现功率芯片可靠贴装的方法

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一种低温快速烧结实现功率芯片可靠贴装的方法
申请号:CN202510788340
申请日期:2025-06-12
公开号:CN120749032A
公开日期:2025-10-03
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种低温快速烧结实现功率芯片可靠贴装的方法,所述方法包括以下步骤:通过自发外延生长合成抗氧化镍包铜核壳纳米颗粒;将镍包铜纳米颗粒与有机溶剂离心搅拌均匀,得到镍包铜纳米焊膏;通过钢网印刷将镍包铜纳米焊膏均匀涂覆在散热基板表面,再放置在加热平台上预热;在带有纳米焊膏的基板上方放置功率芯片,随后转入超声焊接平台上进行超声辅助烧结,得到烧结互连接头。本发明制备了尺寸细小均匀的抗氧化镍包铜核壳纳米颗粒,并通过超声辅助烧结工艺,实现了良好结合界面、高剪切强度的烧结互连接头的制备。
技术关键词
功率芯片 纳米焊膏 纳米颗粒粉末 散热基板 贴装结构 焊接平台 加热平台 烧结工艺参数 离心搅拌器 铜纳米团簇 超声波 模具 石墨纸 平均颗粒尺寸 烧结接头 钢网 超声工艺
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